’RSFTSTYL,Äā<J Micromech Microeng [bz] PhysicsūūD ’This is the reference style for Journal of Micromechanics and Microengineering published by IOP. Author guidelines available at: http://authors.iop.org/atom/usermgmt.nsf/AuthorServices?OpenForm&ISSN=0960-1317 All IOP journals allow the use of the Harvard or Vancouver stystem [in-text] (you can use the style you prefer), apart from the following journals which require the Harvard style: Physics in Medicine and Biology Physiological Measurement Quoted on 9/8/2005 from web site http://authors.iop.org/atom/help.nsf/7765E7F03B07DE5080257020002E4D9B/$File/IOPWordGuidelines.pdfūū!Ø"(# $%&"(#N$%&"(#ˆ$%&"(#Į$%&dJournal of Micromechanics and Microengineering0Institute of Physics¦http://authors.iop.org/atom/usermgmt.nsf/AuthorServices?OpenForm&ISSN=0960-1317ūū\ !hpqrsƒtøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uX}~dd, et al.€‚, . . . vw ---ūū!"hpqrsƒtøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uX}~, et al.€‚, . . . vw ---ūū!# Ä”¢“t‘’ “” •  ūū!–—t‘’ “” •  ūū!–—t‘’ “” •  ūū!–—t‘’ “” •  ūū!–—h‘’ “” • –—t‘’ “”   ūū!• –— Ų”¢Čt‘’ “” •  ūū!–—t‘’ “” •  ūū!–—h‘’ “” • –—|‘’ “”$  vol ūū!• –—t‘ ’ “”   (!• –—€‘ ’ “”  : !•  )ūū!–— „”¢tt‘’ “” •  ūū!–—t‘’ “” •  ūū!–—œ‘’ “” •D  ,ūū!0"(#$%&–—x‘ ’ “”  ed !• –—t‘ ’ “”   (!• –—€‘ ’ “”  : !•  )ūū!–—|‘’ “”$  p^pp !• –— ä” ¢Ō€‘’ “” •(  ed^eds !–—t‘’ “” •  ūū!–—h‘’ “” • –—|‘’ “”$  vol ūū!• –—t‘ ’ “”   (!• –—€‘ ’ “”  : !•  )ūū!–— ”¢ųt‘’ “” •  ūū!–—t‘’ “” •  ūū!–—t‘’ “” •  . !–—¬‘’ “” In: !•D  ,ūū!0"(#$%&–—x‘ ’ “”  ed !• –—t‘ ’ “”   (!• –—€‘ ’ “”  : !•  )ūū!–—|‘’ “”$  p^pp !• –—$ˆ€‘@’ “”  [ūū!•  ] !–—%'p°±`²³P“µ¶“µ¶“µ¶&e()@ph‘+’ “” • –—|t‘"’ “”  , !• –—|t‘’ “”  , !• –—°Ø‘’ “”P >, edited and translated by ūū!• –—*@ō0  , !213  ˜”¢ˆ€‘@’ “”  [ūū!•  ]ūū!–—A  ”¢üt‘’ “” •   ūū!–—€‘@’ “”  [ūū!•  ]ūū!–—4XpqrsƒtøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uX}~ et al.ūū€‚, . . . vw B$  and ūū!C$  and ūū!5(°±²³64ŠŃŅ  -ūū!7dąį  ; !āåęē č 8X}~ et al.ūū€‚, . . . 9:;  , !<@=>?@ |PQZ  , !RShpqrsƒtøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uX}~, et al.€‚, . . . vw ---ūū!ThpqrsƒtøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uX}~, et al.€‚, . . . vw ---ūū!UVWY ĄĮĀĆÄ$ Ibid.!Ģ„|‘’ “”$ Ibid.ūū!• –—Å$ Ibid.!ĘĒ ČÉ ŹčShpqrsƒtøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uX}~, et al.€‚, . . . vw ---ūū!ThpqrsƒtøxXyzd{  , !|$  and ūū!xXydzd{  , !|$  and ūū!uX}~, et al.€‚, . . . vw ---ūū!ĖU[L|t‘+’ “”  , !• –—|t‘"’ “”  , !• –—|t‘’ “”  , !• –—°Ø‘’ “”P >, edited and translated by ūū!• –—  `ab<dc, Anonymousūū!(@ABC `šńņóōõö÷ųłś